技術(shù)編號:6984269
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法的領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種具有量子阱和與量子阱隔開的量子點層的半導(dǎo)體器件及其制造方法。背景技術(shù) 1977年已有量子阱(QW)激光器的介紹,該激光器的有源區(qū)利用一或多層薄的量子阱層(Lz小于400)夾在較厚的波導(dǎo)區(qū)之間,該波段區(qū)進一步由更高間隙的p型和n型限制層包圍(參見E.A.Rezek,N.Holonyak,Jr.,B.A.Vojak,G.E.Stillman,J.A.Rossi,D.L.Keune,和J.D.Fa...
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