技術(shù)編號:6980240
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種芯片鍵合輔助加壓裝置,特別是涉及一種特別針對常溫鍵合成功率低和鍵合強(qiáng)度不高的微流控芯片設(shè)計(jì)的一種芯片常溫鍵合輔助加壓裝置,屬于微流控芯片加工。背景技術(shù)微全分析系統(tǒng)(MicroTotal Analysis System, μ-TAS)是 20 世紀(jì) 90 年代中期以來影響最深遠(yuǎn)的重大科技發(fā)展之一,是融微電子學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、計(jì)算機(jī)科學(xué)為一體的高度交叉的新技術(shù)。通過化學(xué)分析設(shè)備的微型化與集成化,最大限度地把分析實(shí)驗(yàn)室的功能轉(zhuǎn)移到便攜的...
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