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一種高壓frd的截斷型深槽結(jié)構(gòu)的制作方法技術資料下載

技術編號:6978834

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本實用新型涉及的是一種高壓FRD的截斷型深槽結(jié)構(gòu),具體地說是一種采用截 斷型結(jié)終端結(jié)構(gòu)的FRD 二極管,屬于半導體功率器件領域。背景技術理想的器件擊穿電壓是指p-n結(jié)為平行平面的情況。影響擊穿電壓有如下幾個因 素第一.平面工藝p-n結(jié)擴散對擊穿電壓的影響。結(jié)的平行平面部分的電場分布為 一系列的平行線,而結(jié)終端處的電場分布于平行平面結(jié)部分不同。因為結(jié)的兩側(cè)必須滿足 電中性要求,結(jié)面的彎曲就導致了電場的集中。因此彎曲處的電場強度就可以在較低的反 向電壓下達到擊...
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