技術(shù)編號：6971806
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種快速熱處理機(jī)臺滾珠的裝卸工 具。背景技術(shù)快速熱處理(Rapid thermal processing，RTP)是 將晶片快速加熱到設(shè)定溫度，進(jìn) 行短時間快速熱處理的方法，熱處理時間通常小于1 2分鐘。過去幾年間，RTP已逐漸成 為先進(jìn)半導(dǎo)體制造必不可少的一項工藝，用于氧化、退火、金屬硅化物的形成和快速熱化學(xué) 沉積。在快速熱處理機(jī)臺使用過程中，為延長快速熱處理機(jī)臺壽命，保證快速熱處理機(jī) 臺高效工作，要對快速熱處理機(jī)臺...
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