技術(shù)編號(hào):6968853
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有處于基片上的薄膜晶體管(下文稱為T(mén)FT)的電子器件,基片例如可以是玻璃或者絕緣聚合物。例如,該器件可以是一個(gè)有源矩陣液晶顯示器或者其它平板顯示器,或者是其他任何類型的在基體和驅(qū)動(dòng)電路中有TFT的大面積電子器件,如薄膜數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器或圖像傳感器。本發(fā)明還涉及一種制造上述電子器件的方法。多年來(lái),人們的興趣集中在發(fā)展位于玻璃和/或其他廉價(jià)的絕緣基片上的帶有TFT的薄膜電路,用于大面積電子器件。上述TFT由非晶體或多晶體半導(dǎo)體薄膜制成,可以形成單元矩...
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