技術(shù)編號(hào)：6968317
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及薄膜晶體管并特別涉及一種制造包括許多薄膜晶體管的器件的方法。薄膜晶體管(TFT)在許多應(yīng)用中廣泛使用。薄膜晶體管技術(shù)的一項(xiàng)尤其重要的應(yīng)用是在有源矩陣液晶顯示器領(lǐng)域。但是，這不是唯一的應(yīng)用；另一實(shí)例是在X射線探測(cè)器領(lǐng)域，該探測(cè)器可以包含一光電二極管的陣列，其中每個(gè)光電二極管連接到相應(yīng)的薄膜開關(guān)晶體管上。有源矩陣液晶顯示器的有源板上的一種典型的TFT示于圖6中。柵51從行電極53橫向延伸，在柵延伸區(qū)域上面提供半導(dǎo)體區(qū)域55，在半導(dǎo)體區(qū)域上面提供源57...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。