技術(shù)編號(hào)：6965145
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種掩膜傳輸裝置，尤其涉及一種能提高半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)線上的掩膜傳輸連貫性以及與外界模塊的連貫性的掩膜傳輸裝置。背景技術(shù)隨著社會(huì)的不斷進(jìn)步，經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，以及科學(xué)技術(shù)的不斷提高，使企業(yè)對(duì)流水 線作業(yè)中的各設(shè)備之間的工作連貫性提出新的要求。這是由于各設(shè)備間的工作連貫性在很 大程度上影響到流水線作業(yè)的生產(chǎn)效率和成本。相應(yīng)地，在半導(dǎo)體行業(yè)的掩膜生產(chǎn)系統(tǒng)中， 也遇到相同類型的問題，因此，如何提高各設(shè)備間的工作連貫性已成為企業(yè)急需解決的問題之一。目前，現(xiàn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。