技術(shù)編號：6960464
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光電，尤其涉及一種TFT探測基板及其制作方法、X射線探測ο背景技術(shù)目前，硅基薄膜晶體管(Si TFT, Si Thin Film Transistor)有源尋址技術(shù)與非晶硅(a-Si)光電二極管這種光敏感元件結(jié)合，發(fā)展出大面積二維傳感器件，例如TFT探測基板，該探測基板包括TFT和光電二極管，當光信號照射光電二級管時，所感生的光生電荷量將反映光照信息，TFT溝道的關(guān)閉和導通來控制該光照信息的儲存和讀取。這種二維傳感器件能以近乎100%的光利用率傳...
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