技術編號：6960264
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明關于一種二極管元件及其制作技術，特別是關于一種以氧化物薄膜為基礎的二極管元件結構及其制法。背景技術傳統(tǒng)PN形式的二極管因為高溫摻雜工藝的必要性，難以適用于需要低工藝溫度的立體堆棧式集成電路及軟性電子等應用。另外，現(xiàn)有的氧化物薄膜二極管雖具有低溫工藝的優(yōu)勢，但其電性特征如順向電流密度及導通電壓等，則受限于材料選擇的限制，也尚無法滿足產(chǎn)業(yè)所需。例如，對于金屬/N型氧化物/P型氧化物/金屬的MIIM(Metal/ Insultor/Insultor/Met...
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