技術編號:6957832
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及相變材料及制備方法,尤其是指一種用于相變存儲器的Sb2Tex-SiO2納米復合相變材料及制備方法,屬于半導體存儲器的相關領域。背景技術隨著信息的高速發(fā)展,數據信息量激增,對信息存儲量的要求也劇增。而目前市場主流的非易失性存儲器Flash讀寫速度比較緩慢,循環(huán)壽命短,尺寸縮小也將達到極限,必將被下一代新型存儲器所取代。相變存儲器滿足了人們對非易失性器的需要,而且其制造工藝也相當簡單,因此引來了越來越多人的關注。相變存儲器采用以Ge2Sb2Te5為代...
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