技術(shù)編號(hào):6957680
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路,具體涉及一種集成電路中的虛擬金屬(Dummy Metal),以及一種含有虛擬金屬的該集成電路板的制造方法。背景技術(shù)在集成電路的加工工藝中,虛擬金屬(Dummy Metal)是為了晶圓加工的要求而添加在晶圓中的。虛擬金屬的作用就是為了滿(mǎn)足最低金屬密度要求。從晶圓加工的角度出發(fā),如果模具上金屬密度差異很大,在化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)時(shí),在金屬密度高的區(qū)域會(huì)出現(xiàn)氧化物(二氧化硅)凹槽,其為氧化物和金屬一起被磨凹下去的結(jié)果。所以需要在金屬密度低的...
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