技術(shù)編號:6957263
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體工藝,特別涉及。 背景技術(shù)具有如鍺(Ge)、硒(Se)、碲(Sb)、鉍(Bi)等元素構(gòu)成的合金型固態(tài)相變材料,逐漸作為相變材料被用到半導體器件中。固態(tài)相變材料至少存在兩種不同的固態(tài)狀態(tài)。最極端的兩種狀態(tài)能夠被簡單地分為非晶態(tài)和結(jié)晶態(tài)。在這兩種狀態(tài)之間還有其他更不容易辨別的狀態(tài)。非晶態(tài)具有無序的原子結(jié)構(gòu),表現(xiàn)為絕緣的電學性質(zhì);而結(jié)晶狀態(tài)通常是多晶,表現(xiàn)出P型半導體那樣的電學性質(zhì)。固態(tài)相變材料的電阻率在非晶態(tài)和結(jié)晶態(tài)之間變化。具體地說,當這種固...
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