技術(shù)編號:6957181
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有標(biāo)記區(qū)域(mark region)和源極區(qū)域的結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置、特別 是使用了碳化硅的。背景技術(shù)碳化硅的絕緣擊穿電場約為硅的絕緣擊穿電場的10倍,碳化硅的帶隙約為硅的 帶隙的3倍。因此,使用了碳化硅的功率器件與使用了當(dāng)前所使用的硅的功率器件相比, 具有如下特征能夠以低電阻在高溫下進(jìn)行動作。特別是,對于使用了碳化硅的MOSFET或 IGBT來說,在相同的耐壓下與使用了硅的MOSFET或IGBT相比的情況下,非常期待通常時以 及開關(guān)時的損失變小,...
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