技術(shù)編號：6956693
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將光器件晶片沿間隔道分割成一個個光器件的晶片的加工方法， 所述光器件晶片在基板的表面層疊有光器件層、并且在通過呈格子狀地形成的多條間隔道 劃分出的多個區(qū)域中形成有光器件。背景技術(shù)在光器件制造工序中，在大致圓板形狀的藍(lán)寶石基板或碳化硅基板的表面層疊由 氮化鎵類化合物半導(dǎo)體構(gòu)成的光器件層，并且在通過呈格子狀地形成的多條間隔道劃分出 的多個區(qū)域中形成發(fā)光二極管、激光二極管等光器件，從而構(gòu)成光器件晶片。然后，通過沿 著間隔道切斷光器件晶片，將形成有光...
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