技術(shù)編號：6955724
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種有源 矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器陣列基板的制造方法。背景技術(shù)低溫多晶硅薄膜晶體管(LTPS TFT)陣列基板已經(jīng)普遍地應(yīng)用在平面顯示器上， 例如有源矩陣液晶顯示器(AMLCD)、有源矩陣有機(jī)發(fā)光顯示器(AMOLED)等。該類型顯示器 一般是先在基板上沉積非晶硅層(a-Si)，然后通過熱處理使非晶硅熔融結(jié)晶以形成較平滑 且具有晶粒的多晶硅層(P-Si)，接下來利用多晶硅層作為薄膜晶體管(TFT)的溝道層，制 作陣列基板。目前準(zhǔn)分子激光退火(E...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。