技術編號：6952987
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種在制造LSI、超LSI等的半導體裝置、印刷基板或液晶顯示板等產(chǎn) 品時作為防塵器使用的光刻用防塵薄膜組件所使用的防塵薄膜組件框架，以及使用該框架 的防塵薄膜組件。背景技術在LSI、超LSI等半導體裝置或者液晶顯示板等產(chǎn)品的制造過程中，會用光照射半 導體晶圓或液晶用原板以制作圖案，如果此時所使用的曝光原版有灰塵附著的話，由于該 灰塵會吸收光，使光反射，除了會讓轉印的圖案變形、使邊緣變粗糙之外，還會使基底污黑， 并損壞尺寸、品質、外觀等。另外，在本...
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