技術(shù)編號：6952502
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種III族氮化物半導體激光器元件以及III族氮化物半導體激光器元 件的制作方法。背景技術(shù)在非專利文獻1中公開了在C面藍寶石基板上制作的半導體激光器。通過干法 蝕刻形成半導體激光器的鏡面。登載了激光器諧振鏡面的顯微鏡照片，并記載了該表面 的粗糙度約為50nm。在非專利文獻2中公開了在(11-22)面GaN基板上制作的半導體激光器。通過 干法蝕刻形成半導體激光器的鏡面。在非專利文獻3中公開了氮化鎵類半導體激光器。為了將m面作為解理面 (cleave...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。