技術(shù)編號：6951346
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光電子器件，特別涉及一種雙極型晶體管與半導體激光器單 片集成器件的制作方法。背景技術(shù)光電集成器件(0EIC)在光纖通信系統(tǒng)中起重要作用，多年來一直是熱門研究課 題，0EIC器件利用光電子技術(shù)和微電子技術(shù)將光子器件和電子器件集成在同一襯底的單片 上構(gòu)成。目前，光接收機0EIC器件發(fā)展迅速，器件工作速率已經(jīng)超過40Gb/s。相比之下，用 于光發(fā)射的集成了激光器與晶體管的0EIC器件發(fā)展緩慢，主要原因之一是激光器與晶體 管在材料結(jié)構(gòu)及制作工藝兩方面都互...
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