技術(shù)編號(hào):6950269
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種壓電步進(jìn)器,特別涉及一種嵌套雙壓電管推動(dòng)的三摩擦力壓電步進(jìn)器以及用其制成的步進(jìn)掃描器,屬于壓電定位器。背景技術(shù)壓電定位器能在宏觀(guān)(毫米)范圍內(nèi)把物體定位到納米精度,因而在納米科學(xué)與中(包括原子成像、原子操縱等亞納米領(lǐng)域)成為必不可少的工具。但壓電效應(yīng)一般較弱,壓電形變產(chǎn)生的推力也較小,推動(dòng)不了稍大的物體。壓電定位器通常也難以工作于低溫(如液氦溫度)領(lǐng)域,因?yàn)樵诘蜏叵聣弘娦巫冞M(jìn)一步減小,給出的推力甚至小到不能克服摩擦阻力或負(fù)載重力而產(chǎn)生位移。把...
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