技術(shù)編號：6949619
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)，尤其涉及。 背景技術(shù)在快速發(fā)展的半導體制造工業(yè)中，互補式金屬一氧化物一半導體晶體管 (complementary metal oxide semiconductor ；CMOS)鰭式場效晶體管裝置是受到許多邏輯元件及其他應(yīng)用的偏好，并且被整合至各種不同類型的半導體裝置。鰭式場效晶體管裝置通常具有多個半導體鰭狀物，其形成是垂直于基底的上表面，并具有高的高寬比，而半導體晶體管裝置的溝道區(qū)與源極/漏極區(qū)是形成于上述半導體鰭狀物中。鰭狀物...
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