技術(shù)編號:6949476
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體基板、裝置及其相關(guān)制造方法,因此本發(fā)明涉及電子科學(xué)及材 料科學(xué)領(lǐng)域。背景技術(shù)在許多已發(fā)展國家中,對大部分居民而言電子裝置為其生活必需品,電子裝置的 使用及依賴日益增加,產(chǎn)生了對體積小、速度快電子裝置的需求。電子裝置通常包含一在半 導(dǎo)體材料中傳輸?shù)碾娏碓匆援a(chǎn)生期望的效果。許多情況下,在半導(dǎo)體材料中,電的交互作 用與半導(dǎo)體材料本身的品質(zhì)具高度相關(guān),隨著電子裝置的體積變得較小,且功能性的需求 增加,高品質(zhì)的半導(dǎo)體材料變得十分重要,高品質(zhì)半導(dǎo)體材...
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