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一種采用mocvd外延系統(tǒng)制作漸變型擴(kuò)散光電二極管的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6948214

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本發(fā)明涉及一種光通信系統(tǒng)用的高速光電二極管的制作方法,特別涉及一種基于 MOCVD系統(tǒng)漸變型擴(kuò)散的準(zhǔn)臺面、共面電極型高速率銦鎵砷/磷化銦光電二極管的制作方法。背景技術(shù)信息化進(jìn)程的推進(jìn)和網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用的需求,快速推動著網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的發(fā)展。在網(wǎng)絡(luò)的 總帶寬以每年翻一番的速度遞增的急速推動下,新的網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)不斷地涌現(xiàn)。 密集波分復(fù)用(DWDM)技術(shù)、無源光網(wǎng)絡(luò)(PON)技術(shù)、以太網(wǎng)(Ethernet)技術(shù)、長期演進(jìn) (TD-LTE)技術(shù)等新技術(shù)的發(fā)展和成熟使得光通...
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