技術(shù)編號(hào)：6948058
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用氧化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。另外，在本說明書中半導(dǎo)體裝置是指能夠通過利用半導(dǎo)體特性而工作的所有裝 置，因此電光裝置、半導(dǎo)體電路以及電子設(shè)備都是半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)近年來，通過利用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜(厚度大約為幾nm 至幾百nm左右)來構(gòu)成薄膜晶體管(TFT)的技術(shù)引人注目。薄膜晶體管廣泛地應(yīng)用于電子 設(shè)備如IC或電光裝置，尤其是作為圖像顯示裝置的開關(guān)元件，正在積極地進(jìn)行研究開發(fā)。 此外，作為金屬氧化物的一個(gè)例...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。