技術編號:6947498
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及 一種,更具體地講,涉及一種在制造光電轉 換裝置的過程中形成接觸孔的技術。背景技術近些年來,具有較高圖像質量的低成本數(shù)字照相機和數(shù)字攝像機由于先進的光電 轉換裝置而普及。光電轉換裝置被分類為C⑶型、MOS型等等。MOS光電轉換裝置包括像素 區(qū)和外圍電路區(qū)。像素區(qū)包括光電轉換單元、傳輸晶體管和放大晶體管。外圍電路區(qū)包括 MOS晶體管,對從像素區(qū)輸出的信號進行處理并驅動光電轉換裝置。能夠在公共的步驟中通 過CMOS制造工藝制造像素區(qū)和外圍電路區(qū)。通過...
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