技術(shù)編號：6947253
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及采用了鈮酸鋰鉀鈉的壓電性薄膜元件及其制造方法、以及壓電薄膜設(shè)備。背景技術(shù)壓電體根據(jù)各種目的被加工成各種壓電元件、作為施加電壓使之產(chǎn)生變形的執(zhí)行 器和由壓電元件的變形產(chǎn)生電壓的傳感器等功能性電子零部件而被廣泛使用。作為用于執(zhí) 行器和傳感器用途的壓電體，熟知的是具有高壓電特征的鉛系介電體。尤其是被稱為PZT 的Pb (Zr1^xTix) O3系的鈣鈦礦型強(qiáng)介電體，迄今為止已被廣泛應(yīng)用。通常，這些壓電體通過 燒結(jié)壓電材料的氧化物而形成。另一方面，近些年...
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