技術(shù)編號：6946603
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開一種太陽能電池技術(shù)，確切的說一種硅基薄膜太陽能電池可推入真空 室的活動夾具。背景技術(shù)目前，硅基薄膜太陽能電池，采用等離子體增強化學氣相沉積技術(shù)(PECVD)獲取 單結(jié)或多結(jié)的光電轉(zhuǎn)換P-I-N膜層，在薄膜太陽能電池制造行業(yè)通用這種射頻電容耦合平 行電極板反應室。由電極板組件或電極板構(gòu)成電極陣列在反應室內(nèi)進行等離子體化學氣相 沉積。行業(yè)內(nèi)通常把具有支撐框架的電極稱為“夾具”，將該裝置安裝在腔室內(nèi)進行等離子 體化學氣相沉積的裝置又稱為“沉積盒”即所說...
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