技術(shù)編號：6945738
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種靜電吸附電極及其制造方法和使用靜電吸附電極的基板處理裝 置，該靜電吸附電極用于在對液晶顯示裝置(LCD)那樣的平板顯示器(FPD)制造用的玻璃 基板等基板實(shí)施干蝕刻等處理的處理室內(nèi)吸附保持基板。背景技術(shù)在制造FPD的過程中，對作為被處理體的矩形玻璃基板進(jìn)行干蝕刻、濺射 (sputtering)、CVD (Chemical Vapor D印osition 化學(xué)氣相沉積)等各種處理。在進(jìn)行這 些處理的處理裝置中，在處理室內(nèi)設(shè)置具有靜電吸附電極的基...
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