技術編號：6945283
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種低溫多晶 硅顯示面板及其制造方法。背景技術低溫多晶硅薄膜晶體管(LTPS TFT)已經普遍地應用在平面顯示器上，例如，有源 矩陣液晶顯示器(AMIXD)、有源矩陣有機發(fā)光顯示器(AMOLED)等。該類型顯示器一般是先 在玻璃基板上沉積非晶硅層(a-Si)，然后通過熱處理使非晶硅結晶以形成具有較平滑及較 大晶粒的多晶硅膜(P-Si)，接下來利用多晶硅膜來制作薄膜晶體管(TFT)陣列。目前對于 LTPS結晶化技術來說，固相結晶化(SPC...
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