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半導(dǎo)體裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6943476

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本發(fā)明涉及一種具有由薄膜晶體管(以下,稱為TFT)構(gòu)成的電路的半導(dǎo)體裝置及 其制造方法。例如,本發(fā)明涉及一種電子設(shè)備,其中安裝有以液晶顯示面板為代表的電光裝 置、具有有機發(fā)光元件的發(fā)光顯示裝置作為部件。注意,在本說明書中,半導(dǎo)體裝置是指通過利用半導(dǎo)體特性而能夠發(fā)揮其功能的所有裝置,并且電光裝置、半導(dǎo)體電路以及電子設(shè)備都是半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)金屬氧化物的種類繁多且其用途廣泛。氧化銦是較普遍的材料并且用于液晶顯示 器等所需要的透明電極材料。在金屬氧化物中存在呈...
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