技術(shù)編號(hào)：6942900
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及溝槽裝置中的改善的擊穿電壓，且特定來(lái)說(shuō)涉及具有改善的擊穿電壓 的溝槽裝置及用于制造所述溝槽裝置的方法。背景技術(shù)除非本文另有指示，本章節(jié)中所描述的方法對(duì)于本申請(qǐng)案中的權(quán)利要求書(shū)來(lái)說(shuō)并 非現(xiàn)有技術(shù)，且即使包括在本章節(jié)中也不表示就是現(xiàn)有技術(shù)。一些半導(dǎo)體功率裝置使用溝槽式來(lái)產(chǎn)生增加效率的金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)裝 置。舉例來(lái)說(shuō)，整流器可由二極管陣列構(gòu)成。每一二極管具有PN結(jié)，所述PN結(jié)可耗散因所 述PN結(jié)的接通電壓而產(chǎn)生的功率?？赏ㄟ^(guò)在溝槽內(nèi)垂直制作以...
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