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Ⅲ族類氮化物半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6938912

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本發(fā)明涉及III族類氮化物半導(dǎo)體器件以及制造該器件的方法。本申請(qǐng)是基于在此處引用的日本的專利權(quán)申請(qǐng)No.平11-130475和11-266499。III族類氮化物半導(dǎo)體器件,例如藍(lán)光發(fā)射器件等等,是通過下列步驟生產(chǎn)的通過金屬有機(jī)化學(xué)汽相淀積方法(在這個(gè)說明書中縮寫為“MOCVD方法”)在一個(gè)藍(lán)寶石基片上生長(zhǎng)一AlxGa1-xN(0≤X≤1)的緩沖層;以及通過相同的MOCVD方法在該緩沖層上更進(jìn)一步生長(zhǎng)一個(gè)III族類氮化物復(fù)合的半導(dǎo)體層。在這種MOCVD方法...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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