技術(shù)編號(hào):6938285
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種靜電放電保護(hù)裝置。 背景技術(shù)隨著集成電路制造工藝水平進(jìn)入線寬的深亞微米時(shí)代,集成電路中的MOS元 件都采用淺摻雜LDD (Lightly Doped Drain)結(jié)構(gòu),并且硅化物工藝已廣泛應(yīng)用于MOS元 件的擴(kuò)散層上。同時(shí)為了降低柵極多晶的擴(kuò)散串聯(lián)電阻,采用了多晶化合物的制造工 藝。隨著集成電路元件的縮小,MOS元件的柵極氧化層厚度越來越薄,這些制造工藝的 改進(jìn)可大幅度提高集成電路內(nèi)部的運(yùn)算速度,并可提高電路的集成度。但是這些改進(jìn)帶 來了一個(gè)...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。