技術(shù)編號(hào):6937376
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)為了制造半導(dǎo)體器件,需要用到金屬互連工藝。金屬互連具有諸如電路連接、電路 匹配和信號(hào)相位改變等多種功能。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,金屬互連有著各種不同的大小和形狀。 圖像傳感器是高度集成并被制造成小型尺寸的半導(dǎo)體器件。隨著時(shí)間的推移,圖 像傳感器的設(shè)計(jì)尺度(design rule)已逐漸減小。因此,金屬互連的長(zhǎng)寬比已有增加。通 過(guò)首先形成金屬層,在金屬層上方形成光致抗蝕劑圖案,然后再選擇性地蝕刻該金屬層,從 而形成所述金屬互連。 然而,當(dāng)在較...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。