技術(shù)編號(hào)：6936897
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明為關(guān)于光束變換元件，光學(xué)照明裝置，曝M置,以及曝光方法，特 別是關(guān)于用光刻蝕刻工程制造半導(dǎo)體元件，攝影元件液晶顯示元件，薄膜 》茲頭等的微元件之際，其所使用的曝光裝置適用的光學(xué)照明裝置。背景技術(shù)此種典型的曝光裝置，由光源射出的光束，透過光學(xué)積分器(optical integrator)及蠅眼透鏡(fly-eye lens)，由多數(shù)的光源形成實(shí)質(zhì)的面光 源的二次光源。二次光源(一般為光學(xué)照明裝置的照明瞳或在其近傍形成的 照明瞳分布)照出的光束，經(jīng)配置在...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。