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一種led外延結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6936762

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本發(fā)明涉及一種LED外延結(jié)構(gòu),屬于半導(dǎo)體光電子。 背景技術(shù)大功率LED主要用在鐵路照明、道路照明、井下照明,正在向民用照明發(fā)展, 其節(jié)能環(huán)保效果顯著?,F(xiàn)有大功率藍(lán)光LED的外延結(jié)構(gòu)如圖1所示,是在襯片層1的上 面自下至上依次設(shè)有藍(lán)寶石襯底層2、低溫GaN緩沖層3、 N-GaN接觸4、 InGaN/GaN發(fā) 光層5、 P+GaN接觸6、 Ni/Au透明導(dǎo)電層7。該外延結(jié)構(gòu)由于GaN與其襯底藍(lán)寶石的 晶格失配度相當(dāng)大,也就是GaN與藍(lán)寶石AL03晶格不匹配,所...
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