技術(shù)編號(hào):6935817
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及一種集成電路器件,尤其涉及一種形成集成電路器件才冊(cè)極的4冊(cè)極結(jié)構(gòu)及方法。背景技術(shù)隨著技術(shù)節(jié)點(diǎn)的減少,提供金屬柵極結(jié)構(gòu)(例如,包括金屬柵電極而非多晶硅)為改善集成電路(IC)器件的性能提供了一種解決方案。形成金屬柵極堆疊(stack)的其中一個(gè)工藝被稱作"后柵極(gate last),,工藝,在該工藝中,最后的柵極堆疊被"最后"制造,這使得后續(xù)工藝的數(shù)量得到減少,包括必須在柵極形成之后執(zhí)行的高溫處理。"后柵極"工藝包括在除去偽柵極(dummy ...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。