技術(shù)編號：6935796
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到功能薄膜的層離方法，確切地說是涉及到各配備有各種元件的薄膜或?qū)拥膶与x方法。此外，本發(fā)明涉及到用于將分離的薄膜粘合到薄膜襯底的轉(zhuǎn)移方法。還涉及到包含根據(jù)轉(zhuǎn)移方法制作的薄膜晶體管(以下成為TFT)的半導(dǎo)體器件及其制造方法。 背景技術(shù) 新近，利用制作在配備有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜(厚度約為幾十nm到幾百nm)來制作TFT的技術(shù)正受到注意。TFT被廣泛地應(yīng)用于諸如集成電路或電光器件之類的電子器件，且特別被開發(fā)作為顯示器件的開關(guān)元件或驅(qū)動電路。 ...
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