技術(shù)編號：6934446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及群集式工具的處理系統(tǒng)，特別是涉及將一群被處理體逐個依次搬送到群集式工具內(nèi)的多個處理模塊進而實施一系列處理的處理系統(tǒng)。 背景技術(shù) 群集式工具是為謀求處理的一貫化、連結(jié)化或者復合化而將多個處理模塊配置于主搬送室周圍的多腔室裝置，典型地在半導體制造裝置中被采用(專利文獻1)。 例如，薄膜形成加工用的群集式工具的各處理模塊的腔室和主搬送室均保持于真空中，隔著門閥將裝料閘模塊連接于主搬送室。被處理體例如半導體晶片在大氣壓中被搬入裝料閘模塊，然后從切換成減...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。