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溝渠式金氧半導(dǎo)體組件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6934304

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本發(fā)明涉及一種,尤其是一種具有高組件密度 的。背景技術(shù)金氧半導(dǎo)體組件依據(jù)其電流走向的不同,可區(qū)分為平面式(planar)與垂直式 (vertical)兩種。在平面式金氧半導(dǎo)體組件中,源極與汲極設(shè)置于半導(dǎo)體底材的同一個(gè)平 面上,以產(chǎn)生水平方向的導(dǎo)通電流。相比之下,垂直式金氧半導(dǎo)體組件的源極與汲極則是分 別設(shè)置于半導(dǎo)體底材的上表面與下表面,以產(chǎn)生垂直方向的導(dǎo)通電流。對(duì)于水平式金氧半導(dǎo)體組件而言,其耐壓取決于源極與汲極間的通道寬度。相比 之下,垂直式金氧半導(dǎo)體組...
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