技術(shù)編號：6932162
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利說明本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的制造方法，尤其涉及一種。背景技術(shù)傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件如薄膜晶體管或發(fā)光二極管，通常是在玻璃等硬基底上形成 的。最近，替代半導(dǎo)體器件玻璃基底的柔性基底如塑料基底的研究業(yè)已進行。柔性半導(dǎo)體 器件用的柔性基底有耐用、重量輕、柔韌性較好等優(yōu)點，因此，柔性半導(dǎo)體器件具有廣闊的 應(yīng)用前景。然而，柔性基底自身會有卷曲、表面起伏等特點，不利于采用傳統(tǒng)半導(dǎo)體加工工 藝在該柔性基底上形成一半導(dǎo)體器件。為此，日本的Tsunenori Suzuki等...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。