技術(shù)編號：6931377
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及。 背景技術(shù)電路器件，如集成電路、傳感器及MEMS (微電子機械系統(tǒng)， Micro-Electro-Mechanical System)等，在目前已發(fā)展到系統(tǒng)級芯片(SOC, System on a Chip )這一階段，采用系統(tǒng)級芯片的制作技術(shù)能在單芯片上實現(xiàn)系統(tǒng)的全部 功能，SOC發(fā)展中的一個難題是不同制作工藝的兼容問題，制作SOC的過程中 可能需要采用多種標(biāo)準(zhǔn)的制作工藝，但這些制造工藝的制造方法和采用的襯底 材料都...
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