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多層壓電驅(qū)動(dòng)器的制造方法和多層壓電驅(qū)動(dòng)器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6931098

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本發(fā)明涉及壓電器件領(lǐng)域,特別涉及一種多層壓電驅(qū)動(dòng)器的制造方法和多層壓電驅(qū)動(dòng)器。 背景技術(shù)近年來,隨著微電子和微機(jī)械設(shè)備的發(fā)展,對(duì)體積小、位移量大、結(jié)構(gòu)牢固、低電壓驅(qū) 動(dòng)的微位移器件的需求非常迫切。現(xiàn)有技術(shù)中具有上述特性和功能的多層壓電驅(qū)動(dòng)器通常采用以下兩種方式來實(shí)現(xiàn)第一 種方式是將數(shù)個(gè)直至數(shù)百個(gè)極化好的壓電陶瓷片采用有機(jī)粘合劑沿著厚度方向交互層疊。這 種方法得到的多層壓電驅(qū)動(dòng)器在工作時(shí),由于有機(jī)粘合劑的存在會(huì)產(chǎn)生層與層之間的蠕變,從而導(dǎo)致能量轉(zhuǎn)換的效率較低...
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