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一種采用環(huán)形柵結(jié)構(gòu)的pmos劑量計(jì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6930990

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體輻照實(shí)驗(yàn)測(cè)試,尤其涉及一種采用環(huán)形柵結(jié)構(gòu)的PMOS 劑量計(jì)。背景技術(shù)對(duì)空間輻射環(huán)境的研究始于上世紀(jì)四十年代。隨著地球磁場(chǎng)俘獲帶電粒子形成的 強(qiáng)輻射帶(Van-Allen帶)的發(fā)現(xiàn)和相繼發(fā)生的輻射引起的衛(wèi)星運(yùn)行故障,空間輻射環(huán)境的 研究越來越受到重視,各種空間輻射探測(cè)技術(shù)和設(shè)備相繼得到了應(yīng)用,其中也包括一些用 于輻射總劑量監(jiān)測(cè)的技術(shù),如熱釋光(TLD)劑量計(jì)、尼龍薄膜劑量計(jì)、G-M計(jì)數(shù)管、PIN 二極 管、半導(dǎo)體探測(cè)器等。這些技術(shù)雖然取得了一...
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