技術編號：6930980
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體光電子器件，尤其涉及一種環(huán)形腔光子晶體垂直腔面 發(fā)射激光器。背景技術垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)以其光束垂直襯底出射、光束對稱好、低功耗、易于 實現(xiàn)單模工作和二維陣列集成等優(yōu)勢，在光通信、光存儲、光互聯(lián)、固態(tài)照明、激光打印和生 物傳感等領域受到廣泛應用，引起了人們的濃厚興趣和密切關注。在眾多應用場合都要求 VCSEL單模大功率工作，當氧化孔徑很小時，容易實現(xiàn)單橫模工作，卻限制了輸出功率。實驗 結果表明當氧化孔徑減小到3 y m時，波長為...
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