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硅-鍺異質(zhì)結(jié)雙極晶體管及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6930045

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路器件,特別是涉及一種硅-鍺異質(zhì)結(jié)雙極晶體管。背景技術(shù)異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(HBT)由寬禁帶的發(fā)射區(qū),重?fù)诫s、帶隙較小的基區(qū)和寬禁帶 的集電區(qū)材料組成,如發(fā)射區(qū)由硅構(gòu)成、基區(qū)由硅鍺合金(通常簡(jiǎn)寫(xiě)為硅-鍺)構(gòu)成、集電 區(qū)由硅構(gòu)成的硅-鍺HBT。硅-鍺HBT的基區(qū)能帶間隙比發(fā)射區(qū)小,并且與硅集成電路工藝 完全兼容,適合制造高集成度、高速度、與硅半導(dǎo)體制造工藝高度兼容的半導(dǎo)體器件,被廣 泛應(yīng)用于高頻高速通信領(lǐng)域。請(qǐng)參閱圖1 (i),這是一種...
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