技術(shù)編號(hào):6927532
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于大氣壓下等離子體放電的改進(jìn)式射頻電源。 背景技術(shù)近年來(lái),由于大氣壓下等離子體放電打破了真空室的限制,不但降低了設(shè)備成本,而且 操作方便,不受空間限制,更易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn),因此在大氣壓下穩(wěn)定的低溫冷 等離子體射流的產(chǎn)生及其應(yīng)用引起了人們的廣泛關(guān)注。由于射頻下(激勵(lì)頻率1 100 MHz) 等離子體的擊穿電壓比較低,并且放電特性與低氣壓下的輝光放電比較接近,所以射頻激勵(lì) 的大氣壓等離子放電己經(jīng)成功的應(yīng)用在了殺菌、表面處理以及半導(dǎo)體工...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。