技術(shù)編號：6927446
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種晶圓輸送設(shè)備。特別是一種對標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(Standard Mechanical Interface,簡稱SMIF)晶圓盒進(jìn)行載入載出操作的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，在制程間傳輸運(yùn)行平 穩(wěn)，實(shí)現(xiàn)晶圓匣上、下升降、前、后平移、翻轉(zhuǎn)和左、右平移四個(gè)方向的動(dòng)作更靈活可靠， 拓展了適用范圍的平移翻轉(zhuǎn)式晶圓自動(dòng)傳輸裝置。 背景技術(shù)目前，在半導(dǎo)體的制造過程中，晶圓輸送對IC制造至關(guān)重要。為了確保晶圓在不同 的制程間運(yùn)送時(shí)的品質(zhì)，避免晶圓受到塵?；蚱渌廴荆絹碓蕉嗟倪\(yùn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。