技術(shù)編號：6926772
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及硅片加工輔助設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種改良的硅片甩干機密封結(jié)構(gòu)。(二) 背景技術(shù)以往的硅片甩干機僅依靠密封條來防止桶內(nèi)的水在甩干過程中被甩出桶外，其密封性能較差，在甩干過程中雜質(zhì)、顆粒等容易進入工作腔，從而影響硅片的清洗質(zhì)量。(三) 發(fā)明內(nèi)容針對上述問題，本發(fā)明提供了一種改良的硅片甩干機密封結(jié)構(gòu)，其密封性能好。其技術(shù)方案是這樣的其包括門蓋、支撐架和桶底，所述桶底通過法蘭固定于所述支撐架上，所述門蓋安裝于所述法蘭上，其特征在于所述門蓋與所述法蘭之間安裝有...
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