技術(shù)編號：6926412
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種化學(xué)機械研磨機用的可撓膜，該可撓膜系在晶圓研磨制程中接觸晶圓的一側(cè)表面，并支持晶圓在研磨制程中穩(wěn)定且持續(xù)的作業(yè)。 背景技術(shù)在電子產(chǎn)業(yè)中，晶圓的相關(guān)處理制程是相當重要的，其中晶圓的表面必須進行研 磨以獲得較佳的平坦度，其通常是采用化學(xué)機械研磨機對晶圓表面進行適當?shù)难心?，以?除晶圓表面的雜質(zhì)以及獲得較佳的表面平整度，通常該等化學(xué)機械研磨機具備至少一承載 頭，所述的承載頭可用以吸附待研磨的晶圓至研磨墊上，且支持晶圓在研磨過程中不會脫 離承載頭，此...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。