技術(shù)編號：6926180
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明一般而言是涉及晶片檢測器，且更具體的是關(guān)于一種用來修正晶片檢測器 的探針卡及卡盤板間的平行性的裝置及方法。背景技術(shù)晶片探測器是一種用來將晶片上的芯片與測試器連接以測試該晶片上的芯片的直ο在此參考圖1簡短地描述已知的晶片探測器的建構(gòu)及操作。晶片探測器100包括探針卡102、晶片轉(zhuǎn)移裝置104、卡盤板106、卡盤轉(zhuǎn)移裝置 108，及控制裝置110。該晶片轉(zhuǎn)移裝置104將晶片裝載于該卡盤板106上，其中在該晶片上形成多個芯 片。該卡盤板106經(jīng)由該卡盤轉(zhuǎn)移...
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